ЕМЕЛЬЯНОВ, В. В., и С. В. БОРДУСОВ. 2022. «ФОРМИРОВАНИЕ РИСУНКА В ПЛЕНКЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ». Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B. Промышленность. Прикладные науки, вып. 10 (август):31-37. https://journals.psu.by/industry/article/view/1577.