ЕМЕЛЬЯНОВ, В. В., и С. В. БОРДУСОВ. «ФОРМИРОВАНИЕ РИСУНКА В ПЛЕНКЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ». Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B. Промышленность. Прикладные науки, вып. 10, август 2022 г., сс. 31-37, https://journals.psu.by/industry/article/view/1577.