SURFACE MODIFICATION OF POSITIVE PHOTORESIST BY ION IMPLANTATION
Article Sidebar
Main Article Content
Abstract
By atomic force microscopy it was experimentally shown that cone-shaped structures are formed on the surface of positive photoresist FP9120 in the process of ion implantation. These structures are uniformly distributed over the surface of the photoresist. The height, diameter at base and the distribution density of these structures dependы on the irradiation conditions and the type of the implanted ions. The changes of the surface morphology of the photoresist observed in the implantation are due to the relaxation of stresses generated during the manufacture of the polymer film, and radiation-chemical processes in the surface layer of the photoresist.
Article Details
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
References
Modification of magnetic properties of polyethyleneterephthalate by iron implantation / M.G. Lukashchevich [et al.] // Nucl. Instr. Meth. B. – 2007. – V. 257, № 1–2. – P. 589–592.
Применение фоторезистивных масок для маскирования ионного пучка в технологии КМОП-интегральных схем / С.В. Гранько и [др.] // Вестн. Нижегород. ун-та. Сер. Физика. – 2001. – № 2. – С. 41–47.
Формирование низкоразмерных структур на полимерной пленке фокусированным ионным пучком / А.А. Харченко [и др.] // Вестн. БГУ. Сер. 1. – 2012. – № 2. – С. 29–31.
Экспериментальные методы химии высоких энергий / под общ. ред. М.Я. Мельникова. – М.: МГУ, 2009.
Щукин, Е.Д. Влияние активной среды на механическую устойчивость и повреждаемость поверхности твердого тела / Е.Д. Щукин // Вестн. МГУ. Сер. 2. Химия. – 2012. – Т. 53, № 1. – С. 50–72.
Энциклопедия полимеров. – М.: Сов. Энцикл., 1974 .
Расчетно-экспериментальное исследование формирования структуры термоэлектрического материала на основе твердых растворов халькогенидов висмута и сурьмы, полученных методом горячей экструзии / М.Г. Лаврентьев [и др.] // Термоэлектричество. – 2012. – № 4. – С. 36–42.
Most read articles by the same author(s)
- M. LUKASHEVICH, MODIFICATION OF POLYIMIDE FILMS STRUCTURE BEYOND THE PROJECTED RANGE AT ION IMPLANTATION, Vestnik of Polotsk State University. Part C. Fundamental Sciences: No. 4 (2015)
- M. LUKASHEVICH, CORRELATION OF ELECTRICAL, MAGNETIC AND GALVANOMAGNETIC PROPERTIES OF COMPOSITES PREPARED BY IMPLANTATION OF 3D-ELEMENTS IONS IN ZINC OXIDE, Vestnik of Polotsk State University. Part C. Fundamental Sciences: No. 4 (2016)