[1]
ВАБИЩЕВИЧ, С.А., ВАБИЩЕВИЧ, Н.В., БРИНКЕВИЧ, Д.И., ПРОСОЛОВИЧ, В.С., КОЛОС, В.В. и ЗУБОВА, О.А. 2022. ПРОЧНОСТНЫЕ СВОЙСТВА ФОТОРЕЗИСТОВ ДЛЯ ВЗРЫВНОЙ ЛИТОГРАФИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. 4 (май 2022), 49-55. DOI:https://doi.org/10.52928/2070-1624-2022-38-4-49-55.