ВАБИЩЕВИЧ, С.А., БРИНКЕВИЧ, Д.И., ПРОСОЛОВИЧ, В.С., ЗУБОВА, О.А., ТАНАНА, О.В., ВАБИЩЕВИЧ, Н.В. и ИСМАЙЛОВ, Б.К. 2025. ИНДЕНТИРОВАНИЕ ПЛЕНОК НЕГАТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ ДЛЯ ОБРАТНОЙ ЛИТОГРАФИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. 1 (апр. 2025), 53-60. DOI:https://doi.org/10.52928/2070-1624-2025-44-1-53-60.