ВАБИЩЕВИЧ, С.А., БРИНКЕВИЧ, Д.И., ПРОСОЛОВИЧ, В.С., БРИНКЕВИЧ, С.Д., ЗУБОВА, О.А. и ВАБИЩЕВИЧ, Н.В. 2025. ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК НЕГАТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ KMP E3502 НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. 2 (окт. 2025), 26-32. DOI:https://doi.org/10.52928/2070-1624-2025-45-2-26-32.