АБРАМОВ, С.А., БРИНКЕВИЧ, Д.И., ПРОСОЛОВИЧ, В.С., ВАБИЩЕВИЧ, С.А., ЗУБОВА, О.А. и КОНДРУСЬ, И.В. 2026. ПЛЕНКИ НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА KMP E3502 НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. 1 (апр. 2026), 21-26. DOI:https://doi.org/10.52928/2070-1624-2026-46-1-21-26.