[1]
ВАБИЩЕВИЧ, С.А., ВАБИЩЕВИЧ, Н.В., БРИНКЕВИЧ, Д.И. и ПРОСОЛОВИЧ, В.С. 2020. ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОБЛУЧЕННЫХ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. 12 (дек. 2020), 60-64.