[1]
БРИНКЕВИЧ, Д.И., ВАБИЩЕВИЧ, С.А., ПРОСОЛОВИЧ, В.С. и ЯНКОВСКИЙ, Ю.Н. 2015. МОДИФИКАЦИЯ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ В + И Р + В ПРОЦЕССЕ СОЗДАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ ПО КМОП ТЕХНОЛОГИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки. 4 (мар. 2015), 55-59.