ВАБИЩЕВИЧ, С. А.; ВАБИЩЕВИЧ, Н. В.; БРИНКЕВИЧ, Д. И.; ПРОСОЛОВИЧ, В. С. ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОБЛУЧЕННЫХ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки 2020, 60-64.