ВАБИЩЕВИЧ, С. А., ВАБИЩЕВИЧ, Н. В., БРИНКЕВИЧ, Д. И., ПРОСОЛОВИЧ, В. С., & ЯНКОВСКИЙ, Ю. Н. (2015). ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЧНОСТНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ МЕТОДОМ СКЛЕРОМЕТРИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (12), 67-71. извлечено от https://journals.psu.by/fundamental/article/view/5628