ВАБИЩЕВИЧ, С. А., БРИНКЕВИЧ, Д. И., ПРОСОЛОВИЧ, В. С., ЗУБОВА, О. А., ТАНАНА, О. В., ВАБИЩЕВИЧ, Н. В., & ИСМАЙЛОВ, Б. К. (2025). ИНДЕНТИРОВАНИЕ ПЛЕНОК НЕГАТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ ДЛЯ ОБРАТНОЙ ЛИТОГРАФИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (1), 53-60. https://doi.org/10.52928/2070-1624-2025-44-1-53-60