ВАБИЩЕВИЧ, С. А., ВАБИЩЕВИЧ, Н. В., БРИНКЕВИЧ, Д. И., ПРОСОЛОВИЧ, В. С., ОДЖАЕВ, В. Б., & ЯНКОВСКИЙ, Ю. Н. (2014). ПРОЧНОСТНЫЕ СВОЙСТВА СТРУКТУР ФОТОРЕЗИСТ ФП9120-КРЕМНИЙ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (12), 69-73. извлечено от https://journals.psu.by/fundamental/article/view/8257