ВАБИЩЕВИЧ, С. А., БРИНКЕВИЧ, Д. И., ПРОСОЛОВИЧ, В. С., БРИНКЕВИЧ, С. Д., ЗУБОВА, О. А., & ВАБИЩЕВИЧ, Н. В. (2025). ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК НЕГАТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ KMP E3502 НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (2), 26-32. https://doi.org/10.52928/2070-1624-2025-45-2-26-32