ВАБИЩЕВИЧ, Н. В., ВАБИЩЕВИЧ, С. А., БРИНКЕВИЧ, Д. И., ОДЖАЕВ, В. Б., ПРОСОЛОВИЧ, В. С., ЯНКОВСКИЙ, Ю. Н., & ПРОСТОМОЛОТОВ, А. И. (2013). ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЕ В ФОТОРЕЗИСТЕ ЗА СЛОЕМ ВНЕДРЕНИЯ ИОНОВ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (4), 69-74. извлечено от https://journals.psu.by/fundamental/article/view/9297