ГОЛОСОВ, Д. А., ЗАВАДСКИЙ, С. М., & МЕЛЬНИКОВ, С. Н. (2013). СКВОЗНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (4), 75-82. извлечено от https://journals.psu.by/fundamental/article/view/9298