АБРАМОВ, С. А., БРИНКЕВИЧ, Д. И., ПРОСОЛОВИЧ, В. С., ВАБИЩЕВИЧ, С. А., ЗУБОВА, О. А., & КОНДРУСЬ, И. В. (2026). ПЛЕНКИ НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА KMP E3502 НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (1), 21-26. https://doi.org/10.52928/2070-1624-2026-46-1-21-26