ТЕЛЕШ, Е. В., КАСИНСКИЙ, Н. К., & ТОМАЛЬ, В. С. (2012). ФОРМИРОВАНИЕ ПОКРЫТИЙ ИОННО-ЛУЧЕВЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (4), 70-76. извлечено от https://journals.psu.by/fundamental/article/view/9742