ВАБИЩЕВИЧ, С. А., ВАБИЩЕВИЧ, Н. В., БРИНКЕВИЧ, Д. И., & ПРОСОЛОВИЧ, В. С. (2020). ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОБЛУЧЕННЫХ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (12), 60-64. извлечено от https://journals.psu.by/fundamental/article/view/461