БРИНКЕВИЧ, Д. И., ВАБИЩЕВИЧ, С. А., ПРОСОЛОВИЧ, В. С., & ЯНКОВСКИЙ, Ю. Н. (2015). МОДИФИКАЦИЯ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ В + И Р + В ПРОЦЕССЕ СОЗДАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ ПО КМОП ТЕХНОЛОГИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (4), 55-59. извлечено от https://journals.psu.by/fundamental/article/view/5585