ВАБИЩЕВИЧ, С. А.; ВАБИЩЕВИЧ, Н. В.; БРИНКЕВИЧ, Д. И.; ПРОСОЛОВИЧ, В. С.; ЯНКОВСКИЙ, Ю. Н. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЧНОСТНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ МЕТОДОМ СКЛЕРОМЕТРИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, [S. l.], n. 12, p. 67-71, 2015. Disponível em: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/5628. Acesso em: 24 ноя. 2024.