ВАБИЩЕВИЧ, С. А.; БРИНКЕВИЧ, Д. И.; ПРОСОЛОВИЧ, В. С.; БРИНКЕВИЧ, С. Д.; ЗУБОВА, О. А.; ВАБИЩЕВИЧ, Н. В. ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК НЕГАТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ KMP E3502 НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, [S. l.], n. 2, p. 26-32, 2025. DOI: 10.52928/2070-1624-2025-45-2-26-32. Disponível em: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/8495. Acesso em: 16 ноя. 2025.