АБРАМОВ, С. А.; БРИНКЕВИЧ, Д. И.; ПРОСОЛОВИЧ, В. С.; ВАБИЩЕВИЧ, С. А.; ЗУБОВА, О. А.; КОНДРУСЬ, И. В. ПЛЕНКИ НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА KMP E3502 НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, [S. l.], n. 1, p. 21-26, 2026. DOI: 10.52928/2070-1624-2026-46-1-21-26. Disponível em: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/9453. Acesso em: 24 апр. 2026.