ТЕЛЕШ, Е. В.; КАСИНСКИЙ, Н. К.; ТОМАЛЬ, В. С. ФОРМИРОВАНИЕ ПОКРЫТИЙ ИОННО-ЛУЧЕВЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, [S. l.], n. 4, p. 70-76, 2012. Disponível em: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/9742. Acesso em: 14 июл. 2026.