ВАБИЩЕВИЧ, С. А.; ВАБИЩЕВИЧ, Н. В.; БРИНКЕВИЧ, Д. И.; ПРОСОЛОВИЧ, В. С. ИНДЕНТИРОВАНИЕ ОБЛУЧЕННЫХ ЭЛЕКТРОНАМИ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОН-НОВОЛАЧНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, [S. l.], n. 1, p. 29-37, 2023. DOI: 10.52928/2070-1624-2023-40-1-29-37. Disponível em: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/3860. Acesso em: 29 апр. 2024.