ВАБИЩЕВИЧ, С. А.; ВАБИЩЕВИЧ, Н. В.; БРИНКЕВИЧ, Д. И.; ПРОСОЛОВИЧ, В. С. ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОБЛУЧЕННЫХ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, [S. l.], n. 12, p. 60-64, 2020. Disponível em: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/461. Acesso em: 29 апр. 2024.