БРИНКЕВИЧ, Д. И., ВАБИЩЕВИЧ, С. А., ПРОСОЛОВИЧ, В. С. и ЯНКОВСКИЙ, Ю. Н. (2015) «МОДИФИКАЦИЯ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ В + И Р + В ПРОЦЕССЕ СОЗДАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ ПО КМОП ТЕХНОЛОГИИ», Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (4), сс. 55-59. доступно на: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/5585 (просмотрено: 21ноябрь2024).