АБРАМОВ, С. А., БРИНКЕВИЧ, Д. И., ПРОСОЛОВИЧ, В. С., ВАБИЩЕВИЧ, С. А., ЗУБОВА, О. А. и КОНДРУСЬ, И. В. (2026) «ПЛЕНКИ НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА KMP E3502 НА КРЕМНИИ», Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (1), сс. 21-26. doi: 10.52928/2070-1624-2026-46-1-21-26.