[1]
С. А. ВАБИЩЕВИЧ, Н. В. ВАБИЩЕВИЧ, Д. И. БРИНКЕВИЧ, и В. С. ПРОСОЛОВИЧ, «ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОБЛУЧЕННЫХ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ», Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, вып. 12, сс. 60-64, дек. 2020.