[1]
С. А. ВАБИЩЕВИЧ, Н. В. ВАБИЩЕВИЧ, Д. И. БРИНКЕВИЧ, В. С. ПРОСОЛОВИЧ, и Ю. Н. ЯНКОВСКИЙ, «ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЧНОСТНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ МЕТОДОМ СКЛЕРОМЕТРИИ», Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, вып. 12, сс. 67-71, сен. 2015.