[1]
С. А. ВАБИЩЕВИЧ, «ИНДЕНТИРОВАНИЕ ПЛЕНОК НЕГАТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ ДЛЯ ОБРАТНОЙ ЛИТОГРАФИИ», Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, вып. 1, сс. 53-60, апр. 2025.