БРИНКЕВИЧ, Д. И., С. А. ВАБИЩЕВИЧ, В. С. ПРОСОЛОВИЧ, и Ю. Н. ЯНКОВСКИЙ. «МОДИФИКАЦИЯ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ В + И Р + В ПРОЦЕССЕ СОЗДАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ ПО КМОП ТЕХНОЛОГИИ». Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, no. 4 (март 30, 2015): 55-59. просмотрено ноябрь 24, 2024. https://journals.psu.by/fundamental/article/view/5585.