ВАБИЩЕВИЧ, С. А., Н. В. ВАБИЩЕВИЧ, Д. И. БРИНКЕВИЧ, В. С. ПРОСОЛОВИЧ, и Ю. Н. ЯНКОВСКИЙ. «ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЧНОСТНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ МЕТОДОМ СКЛЕРОМЕТРИИ». Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, no. 12 (сентябрь 30, 2015): 67-71. просмотрено ноябрь 21, 2024. https://journals.psu.by/fundamental/article/view/5628.