БРИНКЕВИЧ ДИ, ВАБИЩЕВИЧ СА, ПРОСОЛОВИЧ ВС, ЯНКОВСКИЙ ЮН. МОДИФИКАЦИЯ ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ В + И Р + В ПРОЦЕССЕ СОЗДАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ ПО КМОП ТЕХНОЛОГИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки [Интернет]. 30 март 2015 г. [цитируется по 21 ноябрь 2024 г.];(4):55-9. доступно на: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/5585