ВАБИЩЕВИЧ СА, ВАБИЩЕВИЧ НВ, БРИНКЕВИЧ ДИ, ПРОСОЛОВИЧ ВС, ЯНКОВСКИЙ ЮН. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЧНОСТНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ МЕТОДОМ СКЛЕРОМЕТРИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки [Интернет]. 30 сентябрь 2015 г. [цитируется по 21 ноябрь 2024 г.];(12):67-71. доступно на: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/5628