ВАБИЩЕВИЧ СА, ВАБИЩЕВИЧ НВ, БРИНКЕВИЧ ДИ, ПРОСОЛОВИЧ ВС, ОДЖАЕВ ВБ, ЯНКОВСКИЙ ЮН. ПРОЧНОСТНЫЕ СВОЙСТВА СТРУКТУР ФОТОРЕЗИСТ ФП9120-КРЕМНИЙ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки [Интернет]. 29 сентябрь 2014 г. [цитируется по 11 октябрь 2025 г.];(12):69-73. доступно на: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/8257