ВАБИЩЕВИЧ СА, БРИНКЕВИЧ ДИ, ПРОСОЛОВИЧ ВС, БРИНКЕВИЧ СД, ЗУБОВА ОА, ВАБИЩЕВИЧ НВ. ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК НЕГАТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ KMP E3502 НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки [Интернет]. 31 октябрь 2025 г. [цитируется по 16 ноябрь 2025 г.];(2):26-32. доступно на: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/8495