ГОЛОСОВ ДА, ЗАВАДСКИЙ СМ, МЕЛЬНИКОВ СН. СКВОЗНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки [Интернет]. 28 март 2013 г. [цитируется по 5 апрель 2026 г.];(4):75-82. доступно на: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/9298