АБРАМОВ СА, БРИНКЕВИЧ ДИ, ПРОСОЛОВИЧ ВС, ВАБИЩЕВИЧ СА, ЗУБОВА ОА, КОНДРУСЬ ИВ. ПЛЕНКИ НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА KMP E3502 НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки [Интернет]. 15 апрель 2026 г. [цитируется по 24 апрель 2026 г.];(1):21-6. доступно на: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/9453