ТЕЛЕШ ЕВ, КАСИНСКИЙ НК, ТОМАЛЬ ВС. ФОРМИРОВАНИЕ ПОКРЫТИЙ ИОННО-ЛУЧЕВЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки [Интернет]. 28 март 2012 г. [цитируется по 14 июль 2026 г.];(4):70-6. доступно на: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/9742