ВАБИЩЕВИЧ СА, ВАБИЩЕВИЧ НВ, БРИНКЕВИЧ ДИ, ПРОСОЛОВИЧ ВС. ИНДЕНТИРОВАНИЕ ОБЛУЧЕННЫХ ЭЛЕКТРОНАМИ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОН-НОВОЛАЧНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки [Интернет]. 18 апрель 2023 г. [цитируется по 29 апрель 2024 г.];(1):29-37. доступно на: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/3860