ВАБИЩЕВИЧ СА, ВАБИЩЕВИЧ НВ, БРИНКЕВИЧ ДИ, ПРОСОЛОВИЧ ВС. ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОБЛУЧЕННЫХ ПЛЕНОК ДИАЗОХИНОННОВОЛАЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки [Интернет]. 30 декабрь 2020 г. [цитируется по 29 апрель 2024 г.];(12):60-4. доступно на: https://journals.psu.by/fundamental/article/view/461