Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки

ПЛЕНКИ НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА KMP E3502 НА КРЕМНИИ

С. А. АБРАМОВ — 2026-04-15

Методом индентирования исследованы пленки негативных фоторезистов KMP E3502 толщиной 2,6–6,0 мкм, нанесенные на поверхность пластин кремния методом центрифугирования. Стабилизирующая обработка приводит к равномерному и однородному удалению остаточного растворителя из пленки. При этом пленка становится более плотной, что увеличивает ее прочностные и снижает упругопластические свойства, существенного изменения однородности пленки не наблюдается. Также стабилизирующая обработка повышает адгезию фоторезиста КМР Е3502 к кремниевой подложке и приводит к увеличению значений микротвердости в ~ 1,5 раза. После ионного травления наблюдается резкое возрастание неоднородности пленки фоторезиста и сильное структурирование ее поверхности, появляется сплошной массив неровностей размером ~ 10 мкм. Значения микротвердости после ионного травления возрастают в 2,2 раза по сравнению с исходной пленкой, при этом наблюдается взрывной рост (более чем в 200 раз) дисперсии распределения значений микротвердости. В ионно-травленых пленках распределение величин микротвердости существенно уширяется и кардинально отличается от гауссова. Это обусловлено «взрывным» характером испарения молекул остаточного фоторезиста, приводящим к «вспучиванию» фоторезистивной пленки.

ИК-ФУРЬЕ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛЕНОК НЕГАТИВНОГО ФОТОРЕЗИСТА KMP E3502 НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ

Д. И. БРИНКЕВИЧ — 2026-04-15

Методом ИК-Фурье спектроскопии с использованием приставки для диффузного отражения исследованы пленки негативного фоторезиста KMP E3502 толщиной 2,62–5,9 мкм, нанесенные на поверхность пластин кремния методом центрифугирования. Наиболее интенсивные полосы поглощения в отражательно-абсорбционных спектрах фоторезистивных пленок KMP E3502 наблюдаются в диапазоне волновых чисел 1000–1800 см^–1 и характерны для фенолформальдегидной смолы. Анализ отражательно-абсорбционных спектров пленок KMP E3502 позволяет заключить, что их основным пленкообразующим компонентом является смесь фенолформальдегидных смол. В области волновых чисел 400–1000 см^–1 в тонких (2,62 мкм) пленках KMP E3502 наблюдалась широкая полоса с максимумом в области 650–700 см^–1, которая обуслов-лена процессами на границе раздела фоторезист/кремний. Показано, что при увеличении толщины фото-резистивной пленки от 2,62 мкм до 5,9 мкм кромочный валик (утолщение у края пластины) увеличивается на порядок.

МИКРОВОЛНОВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ СРАВНИТЕЛЬНОЙ ИДЕНТИФИКАЦИИ МАТЕРИАЛОВ

А. В. ГУСИНСКИЙ — 2026-04-15

Разработаны метод и физико-технические принципы активной непараметрической идентификации объектов исследования в многомодовых резонансных СВЧ-системах для сравнительной идентификации материалов (твердых, жидких, газообразных) с целью мониторинга исходных (промежуточных) материалов при производстве (эксплуатации) продукции, которая позволяет быстро (время измерения – несколько минут) без использования расходных материалов определить с высокой точностью (количество определяемых параметров от 3 до 15) отличие от образца (эталона) как в лабораторных условиях, так и в непрерывном технологическом процессе, что способствует повышению надежности и увеличению срока эксплуатации изделий.

МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОДОБРОТНОГО БИКОНИЧЕСКОГО ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО РЕЗОНАТОРА

А. В. ГУСИНСКИЙ — 2026-04-15

Проведено численное моделирование биконического резонатора (БР) в CST Microwave Studio в частотном диапазоне 24–40 ГГц. Решена краевая задача определения собственных колебаний биконического резонатора. Получена частотная зависимость коэффициентов отражения и передачи биконического резонатора от геометрических размеров.

ЗАКОНОМЕРНОСТИ ДВУХВОЛНОВОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ВОЛН СО СРЕДОЙ НАД УГЛЕВОДОРОДАМИ

В. Ф. ЯНУШКЕВИЧ — 2026-04-15

Проведен анализ взаимодействия электромагнитных волн с поверхностным слоем над углеводородами в режиме двухволнового воздействия с преобладанием низкочастотной составляющей излучающего сигнала. Исследованы действительные части и фазы суммарной и разностной компонент тензоров диэлектрической проницаемости поверхностного слоя над углеводородами. Определены зависимости модулей и фаз поверхностного импеданса среды над углеводородами от частоты высокочастотной составляющей излучающего сигнала. Проведен расчет частот электронно-циклотронного и электронно-плазменного резонансов, которые позволяют повысить точность поиска месторождений нефти и газа за счет расширения режимов тестирования. Установлено, что для двухволнового режима отсутствуют резонансы модулей поверхностного импеданса поверхностного слоя над углеводородами в отличие от режима двухчастотного взаимодействия. Полученные результаты моделирования характеристик поверхностного слоя над углеводородами можно рекомендовать для применения в радиотехнических системах для георазведки углеводородных залежей.

ЭФФЕКТИВНОЕ ОБУЧЕНИЕ НЕЙРОННЫХ СЕТЕЙ НА ОСНОВЕ ВЫБОРА НАЧАЛЬНОГО РЕШЕНИЯ

В. В. КРАСНОПРОШИН — 2026-04-15

Рассмотрена проблема, связанная с обучением нейронных сетей. Введено понятие неоднородности пространства оптимизации и доказан критерий его существования. Показано, что одним из факторов, влияющих на качество и скорость алгоритма обучения, является выбор начального приближения. Предложена процедура генерации начального решения, учитывающая свойство неоднородности пространства, специфику решаемой задачи и другие факторы, что позволило повысить качество обучения. Показано, что данную процедуру можно использовать для любых архитектур нейронных сетей и входных данных. Приведены результаты экспериментов по решению прикладной задачи, которые подтверждают эффективность предложенного подхода к обучению.

ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНАЯ ИНФОРМАЦИОННАЯ СИСТЕМА ОРГАНИЗАЦИИ ПЕРЕВОЗОК

Е. В. ШВЕЦОВА — 2026-04-15

Рассматривается интеллектуальная информационная система организации перевозок (ИИСОП), реализующая новый подход в организации транспортного процесса, заключающийся в непрерывном автоматическом воспроизведении цикла «мониторинг спроса на перевозку – анализ данных – адаптивная реакция транспортной системы». Предложена концепция интеллектуальной системы перевозок (ИСП) как объекта управления ИИСОП. Проанализированы основные принципы работы ИСП, математическое обеспечение ИИСОП, включающее математические модели интеллектуальных алгоритмов организации перевозок, триггерные условия их запуска и систему оценки эффективности, позволяющую в реальном времени находить оптимальный план перевозки на основе конкурентного выбора среди предложенных вариантов. Описано программное обеспечение ИИСОП, функциональность которого базируется на математическом обеспечении. Представлены экспериментальные результаты испытаний, свидетельствующие о преимуществах организации перевозок посредством ИИСОП.

ПОИСК КОРНЕЙ ХАРАКТЕРИСТИЧЕСКОГО УРАВНЕНИЯ ТРЕХМЕРНОЙ СИММЕТРИЧНОЙ МАТРИЦЫ ОБЩЕГО ВИДА

С. Г. ЕХИЛЕВСКИЙ — 2026-04-15

Обоснована процедура сведения трехмерной задачи о собственных векторах матрицы к двумерному случаю. Предложен алгоритм поиска корней кубического уравнения, основанный на преобразовании элементов трехмерной матрицы при повороте системы координат. Показано, что в качестве критерия вещественности корней уравнения можно использовать симметричность исходной матрицы, что позволяет соответствующим подбором ее элементов связать инварианты матрицы с коэффициентами решаемого уравнения.