ЕМЕЛЬЯНОВ, В.В. и БОРДУСОВ, С.В. 2022. ФОРМИРОВАНИЕ РИСУНКА В ПЛЕНКЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B. Промышленность. Прикладные науки. 10 (авг. 2022), 31-37.