ЕМЕЛЬЯНОВ, В. В., & БОРДУСОВ, С. В. (2022). ФОРМИРОВАНИЕ РИСУНКА В ПЛЕНКЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B. Промышленность. Прикладные науки, (10), 31-37. извлечено от https://journals.psu.by/industry/article/view/1577