ЕМЕЛЬЯНОВ, В. В.; БОРДУСОВ, С. В. ФОРМИРОВАНИЕ РИСУНКА В ПЛЕНКЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B. Промышленность. Прикладные науки, [S. l.], n. 10, p. 31-37, 2022. Disponível em: https://journals.psu.by/industry/article/view/1577. Acesso em: 14 июн. 2024.