ЕМЕЛЬЯНОВ, В. В. и БОРДУСОВ, С. В. (2022) «ФОРМИРОВАНИЕ РИСУНКА В ПЛЕНКЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ», Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B. Промышленность. Прикладные науки, (10), сс. 31-37. доступно на: https://journals.psu.by/industry/article/view/1577 (просмотрено: 14июнь2024).