В. В. ЕМЕЛЬЯНОВ и С. В. БОРДУСОВ, «ФОРМИРОВАНИЕ РИСУНКА В ПЛЕНКЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ», Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B. Промышленность. Прикладные науки, вып. 10, сс. 31-37, авг. 2022.