ЕМЕЛЬЯНОВ, В. В., и С. В. БОРДУСОВ. «ФОРМИРОВАНИЕ РИСУНКА В ПЛЕНКЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ». Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B. Промышленность. Прикладные науки, no. 10 (август 31, 2022): 31-37. просмотрено апрель 25, 2024. https://journals.psu.by/industry/article/view/1577.