ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ КАТОДНО-ДУГОВОГО РАЗРЯДА, ИСПОЛЬЗУЕМОГО ДЛЯ СИНТЕЗА АЛМАЗОПОДОБНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ

##plugins.themes.bootstrap3.article.sidebar##

Просмотров аннотации: 1
Загрузок PDF: 0
pdf (rus)
Опубликован: мар 28, 2013
Выпуск
№ 4 (2013)
Раздел
Физика

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

И. П. СМЯГЛИКОВ
НИЦ «Плазмотег» Физико-технического института НАН Беларуси, Минск
Н. И. ЧУБРИК
Институт физики имени Б.И. Степанова НАН Беларуси, Минск

Аннотация

Исследуются импульсно-периодические потоки катодно-дуговой углеродной плазмы, используемые для нанесения алмазоподобных углеродных покрытий. Рассматриваемые потоки генерировались в вакууме и в атмосфере ацетилена при давлении от 0,2 до 2 Па в результате распыления графитового катода в четырехэлектродной дуговой системе с самовосстанавливающимся тонкопленочным токопроводом устройства поджига. С применением зондов Ленгмюра установлено, что подложка находится под ускоряющим плавающим потенциалом –15…35 В. Функция распределения электронов по энергиям является максвелловской с температурой электронов около 50 эВ. Скорость самых высокоэнергетиче-ских электронов плазменного потока превышает 30 км/с, в то время как скорость направленного движения плазмы составляет 20 км/с в вакууме и 8 км/с в атмосфере ацетилена. При импульсном дуговом разряде в атмосфере ацетилена наблюдается существенное уменьшение энергии ионов углерода от 30 до 4 эВ по сравнению с вакуумным катодно-дуговым разрядом.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Как цитировать
СМЯГЛИКОВ, И. П., & ЧУБРИК, Н. И. (2013). ЗОНДОВАЯ ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ КАТОДНО-ДУГОВОГО РАЗРЯДА, ИСПОЛЬЗУЕМОГО ДЛЯ СИНТЕЗА АЛМАЗОПОДОБНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ. Вестник Полоцкого государственного университета. Серия С. Фундаментальные науки, (4), 57-62. извлечено от https://journals.psu.by/fundamental/article/view/9295
Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Биографии авторов

И. П. СМЯГЛИКОВ, НИЦ «Плазмотег» Физико-технического института НАН Беларуси, Минск

канд. физ.-мат. наук

Н. И. ЧУБРИК, Институт физики имени Б.И. Степанова НАН Беларуси, Минск

канд. техн. наук

Библиографические ссылки

Robertson, J. Diamond-like amorphous carbon / J. Robertson // Materials Science and Engineering. – 2002. – № 37. – Р. 129 – 281.

Grill, A. Diamond-like carbon: state of the art / A. Grill // Diamond and Related Materials. – 1999. – № 8. – Р. 428 – 434.

Experimental study of a pulse plasma flow in a mode of diamond-like coating deposition / I.P. Smyaglikov [et al.] // J. High Temperature Material Processes. – 2006. – № 8. – Issue 4. – P. 617 – 624.

Electrical erosion pulsed plasma accelerators for preparing diamond-like carbon coatings / E.I. Tochitsky [et al.] // Surface and Coating Technology. – 1991. – № 47. – P. 522 – 527.

Spectroscopic and probe diagnostics of carbon plasma flows of a pulse vacuum arc / I.P. Smyaglikov [et al.] // J. High Temperature Material Processes. – 2010. – № 14. – Issue 4. – P. 151 – 158.

Schott, L. Electric probes / L. Schott. In Plasma diagnostics; ed. W. Lochte-Holtgreven // North-Holland Publishing Company. – Amsterdam, 1968.

Smyaglikov, I.P. Spectroscopic diagnostics of a pulsed arc plasma in the presence of acetylene / I.P. Smyaglikov [et al.] // J. Vacuum. – 2013. – № 90. – P. 165 – 169.